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晶圆搬运设备

服务机构: 中国区域:省西控代理
驻场情况: 碳汇科技大市场
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邮    箱: tongchoubanppp@foxmail.com
地    址: 招标办:玉祥门财智大厦8层碳汇处
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TYK2101 半导体晶圆搬运设备

硅片储存容器转移到储存容器。 18英寸自动搬运,可以将晶圆安全、洁净地移动。 驱动单元的门是互锁的,以防止因疏忽而造成事故。 可以使用触摸面板设置各种条件。 可以使用触摸面板设置从顶部存储和从底部存储的传输条件

采用了清洁机器人的系统。 12英寸(300mm)的晶圆,以1枚为单位,从容器A移动至容器B。

可以对应的容器为FOUP ・FOSB ・PFA。一般标准为以1枚为单位进行转移,但也可以以5枚、25枚为单位进行转移。详情根据客户规格制定


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