服务详情
晶圆搬运设备
TYK2101 半导体晶圆搬运设备
硅片储存容器转移到储存容器。 18英寸自动搬运,可以将晶圆安全、洁净地移动。 驱动单元的门是互锁的,以防止因疏忽而造成事故。 可以使用触摸面板设置各种条件。 可以使用触摸面板设置从顶部存储和从底部存储的传输条件
采用了清洁机器人的系统。 12英寸(300mm)的晶圆,以1枚为单位,从容器A移动至容器B。
可以对应的容器为FOUP ・FOSB ・PFA。一般标准为以1枚为单位进行转移,但也可以以5枚、25枚为单位进行转移。详情根据客户规格制定
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